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特種氣體的應用及安全管理

　　隨著國內半導體和光伏產業的快速發展，對高純度氣體，特別是高純度特種氣體的要求越來越高，對氣體質量的要求也越來越高。大多數特種氣體都是有毒、易燃易爆、高腐蝕性和高氧化性的，如H2Se、SiH4、Cl2和NF3。因此，如何安全、穩定、可靠地儲存和運輸特種氣體越來越受到公司的重視。

　　1.5運行管理中的特種氣體的幾種分類方法是指由高純元素氣生產的純氣體、高純氣體或二元或多組分混合氣體，適用于特定領域，對氣體有特殊要求。特種氣體的類型是任何安全操作和管理的基礎。在儲存、操作和處置氣體之前，您需要了解特殊氣體的安全數據表。根據MSDs，特種氣體可通過多種方式進行分類。為了便于特種氣體的操作和管理，介紹了以下分類方法。

　　1.根據特殊氣體的狀態，特殊氣體在運輸、儲存和運輸過程中充入壓力容器。氣體充滿壓力容器的所有角落，罐壁上的壓力平衡。在一般填充壓力和溫度下始終以氣體形式存在的氣體稱為永久氣體，而液化氣體稱為液化氣體。液化石油氣分為兩類：高壓液化氣，如HCl和N2O；由于當使用永久性氣體時，壓力容器中的壓力逐漸降低，并且當使用液化氣體時，只要壓力容器中有液體，壓力就不會改變，因此在氣體操作管理中，監測永久性氣體的剩余量的方法是壓力監測，而液化氣體的殘余量必須配備電子秤和重量監測程序。

　　2.根據特殊氣體的比重計算的比重也稱為相對密度。氣體比重是指標準條件下氣體密度與空氣密度之比。在特殊氣體的操作中，氣體的分子量可以直接反映氣體的比重。空氣分子量為28.8。以空氣分子量作為分離點，工業H2、he、NH3、CH4等中比空氣輕的常見氣體接近。一比空氣重的氣體包括AsH3、PH3、SiH4、CF4等。這兩種氣體的運行和管理模式不同。例如，儲氣罐中比空氣輕的氣體的排氣位置和氣體取樣點位于氣缸上方，而比空氣重的氣體的排放位置和氣體采樣點位于氣缸下方。應注意的是，運行中的氣體通常處于非標準條件下，因此分子量與空氣相似的氣體在不同溫度下有例外，如常溫或高溫N2比空氣輕。并且冷N2比空氣重。

　　要計算混合物的分子量，首先確定混合物的氣體成分和每種組分氣體的分子量。例如，計算1%PH3的分子量，PH3分子量為34，分子量為4。計算公式如下：34×0.01+4×0.99=4.3

　　3.根據特殊氣體的化學性質，特殊氣體可分為惰性氣體、可燃氣體、自燃氣體、氧化氣體和腐蝕性氣體。工業中廣泛使用的惰性氣體包括CF4、C4F8、SF6、AR、CO2、er、Xe、NE等。易燃氣體包括AsH3、B2H6、NH3、TEOS和TMB；自燃氣體包括SiH4、PH3等。氧化氣體包括No、NF3等。腐蝕性氣體包括HCl、HBr、BCl3、BF3、SiCl4、POCl3、PF3、PF5等。值得注意的是，許多特殊氣體同時具有上述兩種性質，如SiH2Cl2和SiHCl3，它們都是易燃和腐蝕性氣體。例如，Cl2和F2同時具有腐蝕性和氧化性。

　　一般而言，在半導體、光伏和其他行業中，在其主要設施的一樓修建了特殊的氣室，并根據所用氣體的類型和特性對各種氣室進行了劃分。

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